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捷佳伟创:国内首全自主研发的电子级硅芯清理洗涤设施即将交付

发布时间: 2023-09-11 23:33:11 |   作者: 行业资讯

  IT之家 9 月 11 日消息,据捷佳伟创官方公众号报道,常州捷佳创精密机械有限公司国内首全自主研发的电子级硅芯清理洗涤设施目前已经成功下线,将于近日部署至某合作客户处。

  据悉,此款硅芯清理洗涤设施是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蚀清理洗涤设施,用于清洗硅芯表面有机物、氧化物和金属离子,采用碱洗、酸洗、超声、机能水等工艺,产品可用于高纯光伏硅片与半导体硅片的生产制程,清洗后总表金属≤0.2ppbm。

  底部龙门式 Robot 设计,运载更稳定,运动部件产生的 Particle 可更快排出设备外。

  官方表示,长期以来,电子级硅芯硅料清理洗涤设施市场占有率都被外国厂商占有,捷佳伟创作为太阳能光伏电池设备行业领军企业及半导体设备制造商,将“坚持以研发制造一流专业设备,推动国内相关行业发展为己任”。

  捷佳伟创宣称,目前官方已实现表金属 0.5ppbw 以上等级的电子级硅料批量出货,2024 第一季度将推出 0.1ppbw 以下的产品。

  捷佳伟创声称,未来公司将继续秉承“技术领先,管理领先,服务领先”的发展的策略,继续精进光伏电池生产设备及半导体湿法清理洗涤设施研发,并向更广阔的产品领域和更丰富的技术路线继续发展,为客户提供技术领先、质量过硬、服务非常周到的产品。